2019再度大力发展国产干式螺杆真空泵 逐渐减少螺杆泵对进口的依赖

螺杆泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转，从而产生的吸气和排气作用的一种抽气设备，干式螺杆泵可满足用户的多样使用要求。螺杆真空泵的两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定间隙，所以当泵工作时，相互之间不会产生磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，所以螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。

真空系统已经广泛应用于镀膜、光学、化工、医疗器械、核能、航空等科学领域和工业制造领域，真空系统的好坏直接决定着所生产产品的质量、精度和可靠性，科学研究结果的准确性和成功与否。真空获得设备作为真空环境的动力源，相当于真空系统的“心脏”，直接影响着整个真空环境的稳定性、可靠性和其他性能。选择真空获得设备时需要考虑到真空获得设备的适用工况、真空系统的真空度要求以及特殊气体等诸多因素，只有选择合理的真空获得设备才能保证真空系统正常运作。众多真空获得设备中干式真空泵具有环保节能、稳定性高、泵腔内无油、结构紧凑等诸多优点，是真空获得设备中重要的一类。其中干式螺杆真空泵保证泵腔内无油或其他工作介质这一重要特点，解决了大多数真空获得设备正常工作状态下，泵腔内的润滑油脂或其他工作介质由于返流和物理扩散进入所抽容积内，致使真空室受到污染这一现象的发生，被广泛运用于半导体、化工、药品等工业制造领域。

2019年云顶yd222真空泵参加第十八届中国国际化工展览会-向国内外展示国产真空泵的技术与实力

虽然干式螺杆真空泵的种类越来越多，但是通常的机械真空泵如爪式泵，其抽速难以做大，而且制造难度也大，成本高;另外还有利用多叶级数进行串连的罗茨泵，其缺点与爪式泵相仿。在此种背景下诞生的干式螺杆真空泵则具有了其前辈真空泵类所不具各的很多优点，而这些优点则保证了干式螺杆真空泵的先进性及在应用中的优势。

目前国内外关于干式螺杆真空泵转子型线设计方面的报道很少，主要内容集中于对螺杆真空泵性能的预测与配套装置、材料、加工方法设备、螺杆泵的配件、密封条件等等内容的改进。

目前由于各国多对自己的干式螺杆真空泵技术进行保密和竞争，而我国在螺杆泵的设计方面虽然有很多具体的细节和技术难题还没有解决，在螺杆泵的设计方面努力比肩世界一流水平。在具体的螺杆泵的加工制造上，局限于我国的生产设备和加工条件，我国生产的螺杆泵自动化程度不高，精度也不高，在一些高档的螺杆泵上仍不能独立制造。因此中高档的真空泵仍然主要依赖于进口。

对于所有类型的真空泵，人们都希望能够将现有的真空泵的物理尺寸尽量减小。但是这一点与真空泵的抽气速率相矛盾。因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然还有一个影响真空泵抽气速率的因素，那就是转速。为了使小尺寸的真空泵与大尺寸的真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高其转速。而想要提高真空泵的转速可以采用变频器来改变电源的频率或者改变齿轮箱的传动比。前者可以提供一个闭环控制，但是在大负载的情况下容易引起扭矩的损失。而改变齿轮箱的传动比是比较经济的一种方法，但是它只能提供不可控的单一转速。国外目前开发较多的是高转速的真空泵系列。

当前国内生产的真空获得设备仍然以传统的真空泵为主，主要为水环真空泵、旋片真空泵、蒸汽流泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵，且全部用于传统行业。我国生产的干式螺杆真空泵真正用于集成电子电路信息产业的不足1%。相比于日本、欧美等发达国家差距巨大。我国的干式真空泵正处于起步阶段，全国200多家生产真空泵的企业中，能够生产干式真空泵的企业不超过10家，难以形成批量生产。

国产干式螺杆真空泵大部分应用于实验室、化学、医疗等领域，很少有国产干泵应用于半导体行业。究其原因一方面半导体的生产过程中会产生大量粉尘，处理不好容易造成干泵卡死，尤其刻蚀工艺多用腐蚀性气体，会对干泵内部零件造成腐蚀，造成漏油、毒气泄漏等事故。若干泵故障多发，对半导体集成电路生产造成的损失巨大。国产干泵的可靠性还不能解决上述问题。近年来，随着国内经济转型，半导体电子信息产业在国内的飞速发展，但国内干式螺杆真空泵的发展没有跟上，使该领域成为国际上干式真空泵工业发达国家的扩张之地。国内生产的干式真空泵想要进入该领域十分艰难，使得干式螺杆真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在国内的处境十分艰难，造成此状况的主要原因是我国干式螺杆真空泵的起步晚，绝大部分市场已经被国外产品占领。国内干式螺杆真空泵除了价格优势，在加工、材料、设计创新都难以与国外品牌竞争。尤其可靠性方面更是与国外同类产品存在差距。

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油的耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已经被无油清洁的真空系统所代替。真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。目前国外制药精细化工行业干式螺杆真空泵占全部真空泵的60%左右，目前国内在此行业只占到10%-20%，而且随着环保形势的严峻化，这一比例还在不断上升。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证有些泵还出口国外得到国外用户的认可并受到好评应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

液环泵

虽然液环泵属于粗真空泵，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵。由于液环泵大部分是铸件加工要求也不高属劳动密集型产品所以国产液环泵在价格上有竞争优势。

干式真空泵

国外干式真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、制药、薄膜产业的迅速发展。在日本半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。据统计目前国产干式螺杆真空泵的应用占比大约在10%-20%，随着我国环保形势日趋严峻，这一比例将在新建项目中将不断扩大。例如：从云顶yd222干式螺杆真空泵的每年销售数量上看，一直处于增长上升中。

干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术，降低排气口的温度，增大转子面积利用率等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高，安全性也是需要设计中考虑的，用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向，但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行业内的统治地位一样。

总结：近两年，我国格外重视攻克“卡脖子”技术，在真空泵行业的领域里大力发展国产干式螺杆真空泵。2019再度奋起直追，我国逐渐减少螺杆泵对进口的依赖。